HBO Microlithography Lamps for Süss Systems

Anwendungsgebiete
  • Microlithography
Sicherheitshinweise
Wegen ihrer hohen Leuchtdichte, der abgegebenen UV-Strahlung und des hohen Lampeninnendruckes dürfen HBO Lampen nur in geschlossenen und eigens dafür konstruierten Gehäusen betrieben werden. Im Falle des Platzens einer Lampe wird Quecksilber freigesetzt. Es sind besondere Sicherheitsregeln zu beachten. Nähere Hinweise hierzu erhalten Sie auf Anfrage oder entnehmen Sie bitte dem Beipackzettel oder der Bedienungsanleitung.

Mehr über die Produktfamilie

HBO lamps > 200W are designed to meet the high demands of the Semiconductor industry. With peak intensity at 365nm these lamps are ideal for microlithography and are designed and qualified for specific equipment manufacturers.

Produkte

Sort by:
Produktbezeichnung
Nennleistung
Nennspannung
Abstand Lichtschwerpunkt (LCL)
Länge
Produktdatenblatt
HBO 350 W/S
350 W 68.0 V 52,5 mm 127.0 mm
HBO 1000 W/D
1000 W 37.7 V 89,5 mm 240.0 mm
HBO 1000W/DHL
1000 W 45.0 V 206.0 mm
HBO 5000 W/S
5000 W 50.0 V 143,5 mm 360.0 mm