HBO Microlithography Lamps for ASML i-line Systems
Produkteigenschaften
- High spectral intensity with peak irradiance at 365nm wavelength, making it ideal for microlithography
- Designed for long lasting performance
- Qualified with ASML
Anwendungsgebiete
- Microlithography
Sicherheitshinweise
Wegen ihrer hohen Leuchtdichte, der abgegebenen UV-Strahlung und des hohen Lampeninnendruckes dürfen HBO Lampen nur in geschlossenen und eigens dafür konstruierten Gehäusen betrieben werden. Im Falle des Platzens einer Lampe wird Quecksilber freigesetzt. Es sind besondere Sicherheitsregeln zu beachten. Nähere Hinweise hierzu erhalten Sie auf Anfrage oder entnehmen Sie bitte dem Beipackzettel oder der Bedienungsanleitung.
Wegen ihrer hohen Leuchtdichte, der abgegebenen UV-Strahlung und des hohen Lampeninnendruckes dürfen HBO Lampen nur in geschlossenen und eigens dafür konstruierten Gehäusen betrieben werden. Im Falle des Platzens einer Lampe wird Quecksilber freigesetzt. Es sind besondere Sicherheitsregeln zu beachten. Nähere Hinweise hierzu erhalten Sie auf Anfrage oder entnehmen Sie bitte dem Beipackzettel oder der Bedienungsanleitung.
Mehr über die Produktfamilie
HBO lamps > 200W are designed to meet the high demands of the Semiconductor industry. With peak intensity at 365nm these lamps are ideal for microlithography and are designed and qualified for specific equipment manufacturers.
Produkte
| Produktbezeichnung |
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Produktdatenblatt | ||
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HBO 1003 W/PIL
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1003 W | 27.1 V | 85,0 mm | 195.0 mm | ||
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HBO 1500 W/PIL
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1500 W | 23.0 V | 118,0 mm | 273.0 mm | ||
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HBO 2100 W/PIL
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2100 W | 24.0 V | 118,0 mm | 240.0 mm | ||
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HBO 2500 W/PIL
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2500 W | 28.0 V | 149,0 mm | 340.0 mm | ||
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HBO 3500 W/PIL
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3500 W | 23.0 V | 154,0 mm | 360.0 mm |